Her ikisi de "biriktirme" olarak adlandırılsa da, PCD ve CVD işlevleri açısından büyük farklılıklar gösterir.
2026-09-21
Temel Nedenler:
PVD, kaynak malzemelerini esas olarak fiziksel yollarla giderir ve bunları yongaya taşır.
CVD, gaz halindeki öncüllerin yüzeyde sürekli olarak kimyasal reaksiyonlar geçirmesini sağlar.
Bir işlem seçerken, dikkate alınması gereken gerçek sorular, malzemenin yüzeye nasıl geldiği, filmin nerede oluştuğu ve büyüme mekanizmasını neyin sonlandırdığıdır.
İşlemler:
PVD: Önce katı kaynaktan malzeme çıkarılır PVD, Fiziksel Buhar Biriktirme'nin genel terimidir.Buharlaştırma, malzemeleri buharlaştırmak için ısı kaynakları veya elektron demetleri kullanır; püskürtme, hedefi bombardımana tutmak ve hedef atomlarını koparmak için plazma iyonları kullanır. Film oluşturan türler vakumda taşınır ve nihayet yonga yüzeyinde yoğunlaşır.
CVD: Gazlar yüzeye ulaştıktan sonra film oluşturmak için sürekli reaksiyona girer CVD, Kimyasal Buhar Biriktirme anlamına gelir. Öncüller, gaz akışıyla yonganın yakınına seyahat eder, sınır tabakasından geçer, ardından yüzeye adsorbe olur, ayrışır veya reaksiyona girer. Katılar yongaya birikirken, uçucu yan ürünler egzozlanır.