Silikon Karbid CVD kaplama fırını, grafit duyarlılığı veya kazma halkası için

Silikon Karbid CVD kaplama fırını, grafit duyarlılığı veya kazma halkası için

Bu ekipman, özellikle yarı iletken duyarlılığı ve kazma halkaları için karbon bazlı / seramik bazlı malzemenin yüzeyinde silikon karbürün çökmesi için kullanılır.

Grafit duyarlısı, yüksek saflıkta bir grafit diski, wafer substratını sabitlemek için üzerinde yuvarlak bir oluk vardır.Bir kristal film katmanı substratın yüzeyinde büyüyecek., ki bu da epitaksiyel katman.

Litografi ve iyon ekimi gibi wafer işlemleri epitaksyal katmanda gerçekleştirilir.Grafitten yapılmış epitaksiyal taban açıkça yarı iletken işleminde ultra yüksek temizlik gereksinimlerini karşılayamaz..

Bu nedenle, tabanında yoğun silikon karbid film katmanı sarmak için kimyasal buhar çökümü kullanmalıyız.

• Tasarım standartları

Ekipman, Kalite ve Teknik Denetim Bürosu'nun basınçlı kap gereksinimlerine uygun olarak tasarlanmıştır ve basınç testi sonrası nitelikli ve gönderilmiştir.Elektriksel tasarım ve inşaat ulusal standartlara uygun.

• Kurulum öncesi test ve ön kabul

Tüm boru hatları, vakum boru hatları, proses gaz boru hatları, soğutma suyu boru hatları, basınçlı hava boru hatları vb.Kurulumdan sonra ön test yapılabilir.. Müşteri sitesinde, ekipman dışında boru hatları müşteri tarafından sağlanır. Kurulum, tüm kabloların bağlantısını da içerir.Güç dolabını bağlayan ana kablo müşteri tarafından sağlanır.Kurulumdan sonra, tüm ekipman üzerinde vakum ve pozitif basınç sızıntı testleri, mekanik ve elektrik fonksiyon testleri yapıyoruz.

• Çıkarma ve nakliye

Ekipman birkaç büyük parçaya ayrılır, standart bir şekilde paketlenir ve nakliye aracına yüklenir.

• Müşteri sitesi kurulumu ve devreye girmesi

Redel satış sonrası mühendisi ekibe 20 iş günü içinde komisyonlama, ürün deneme yakma ve diğer işleri tamamlama konusunda liderlik edecek.Müşterinin uygun hazırlıklar yapması ve gerekli araçları sağlaması gerekir, örneğin kaldırma ve kaldırma ekipmanları ve kurulum personel desteği sağlamak (1 mekanik personel ve 1 elektrikli personelin olması önerilir).

• Son kabul

Kurulum ve devreye girdikten sonra, ekipman teknik sözleşmenin gerekliliklerine uygun olarak nihai olarak kabul edilebilir.

• Eğitim

Satış sonrası mühendislerimiz, operasyon, bakım, arıza giderme vb. dahil olmak üzere sistematik ve tam bir yerüstü eğitim sağlayacaktır.

• Teknik verilerin verilmesi

Güvenli işletme ve ekipman bakımını sağlamak için müşterilere aşağıdaki teknik veriler sağlanacaktır:

1Ekipman kurulum planı

2. Kullanıcı kılavuzu

3. Yedek parça listesi

4Elektrik çizimleri

5. Bileşen kılavuzu