Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Öncüler ve proses gazları: Ticl4 、 alcl3 、 ch3cn 、 h2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
Kaplama Yüzeyleri: Metal, seramik, cam vb.
kaplama yöntemi: Kimyasal buhar birikimi (CVD)
Toplam güç: Yaklaşık 40/50/60/80kW
Öncüler ve proses gazları: Ticl4 、 alcl3 、 ch3cn 、 h2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
Kaplama Ekipmanı Boyutu: özelleştirilebilir
Toplam güç: Yaklaşık 40/50/60/80kW
Kaplama Yüzeyleri: Metal, seramik, cam vb.
Kaplama Yüzeyleri: Metal, seramik, cam vb.
Kaplama Yapışma: Güçlü
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Öncüler ve proses gazları: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Öncüler ve proses gazları: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Öncüler ve proses gazları: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Öncüler ve proses gazları: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Kaplama türleri: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Kaplama türleri: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Proses sıcaklığı((°): 700-1050
Kaplama türleri: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Maksimum çalışma sıcaklığı(°C): 1300
Sıcaklık bütünlüğü (°C): ≤±7
Etkili alan (mm): 1000*1000*1500
Isıtma gücü (KVA): 300
Sorgularınızı doğrudan bize gönderin.