HTCVD Silikon Karbid ((CVD SIC) epitaksi büyüme fırını

Bu ekipman, karbon bazlı/keramik bazlı malzemelerin silikon karbid kaplaması için kullanılır.Özellikle yarı iletken epitaksiyal duyarlılığı ve kazım yüzüğünün yüzeyinde silikon karbürün çökmesi.

Epitaxial taban, yüksek saflıkta bir grafit diski, üzerinde wafer substratını sabitlemek için dairesel bir olukla.Fırına yerleştirildikten sonra, substratın yüzeyinde, epitaksyal katman olan bir kristal film katmanı büyüyecektir.Litografi ve iyon ekimi gibi wafer işlemleri epitaksyal katmanda gerçekleştirilir.

Grafitten yapılmış epitaksiyal taban, açıkça yarı iletken işlemindeki son derece yüksek temizlik gereksinimlerini karşılayamaz.Bu nedenle, tabanında yoğun silikon karbid filmi katmanı sarmak için kimyasal buhar çökümü kullanmalıyız.

İsteğe bağlı yapılandırma

1Fırın kapısı: vida/hidrolik/manuel yükseltme tipi; salıncak açma/paralel açma ((büyük boyutlu fırın kapısı); manuel sıkı/otomatik kilit halka sıkı
2Fırın kapı: tüm karbon çelik/iç katman paslanmaz çelik/tüm paslanmaz çelik
3Fırın sıcak bölgesi: yumuşak karbon filti/yumuşak grafit filti/sert kompozit filti/CFC
4Isıtma elemanı ve muffle: izostatik baskı grafit/yüksek saflık, dayanıklılık ve yoğunluk grafit/cik grafit
5- Süreç gazı sistemi: hacim/kütle akış ölçer;
6. Termokopül: K tipi/N tipi/C tipi/S tipi

• Tasarım standartları

Ekipman, Kalite ve Teknik Denetim Bürosu'nun basınçlı kap gereksinimlerine uygun olarak tasarlanmıştır ve basınç testinden sonra nitelikli ve gönderilmiştir.Elektriksel tasarım ve inşaat ulusal standartlara uygun.

• Kurulum öncesi test ve ön kabul

Tüm boru hatları, vakum boru hatları, proses gaz boru hatları, soğutma suyu boru hatları, basınçlı hava boru hatları vb.Kurulumdan sonra ön test yapılabilir.. Müşteri sitesinde, ekipman dışındaki boru hatları müşteri tarafından sağlanır. Kurulum, tüm kabloların bağlantısını da içerir.Güç dolabını bağlayan ana kablo müşteri tarafından sağlanır.Kurulumdan sonra, tüm ekipman üzerinde vakum ve pozitif basınç sızıntı testleri, mekanik ve elektrik fonksiyon testleri yapıyoruz.

• Çıkarma ve nakliye

Ekipman birkaç büyük parçaya ayrılır, standart bir şekilde paketlenir ve nakliye aracına yüklenir.

• Müşteri sitesi kurulumu ve devreye girmesi

Redel satış sonrası mühendisi ekibe 20 iş günü içinde komisyonlama, ürün deneme yakma ve diğer işleri tamamlama konusunda liderlik edecek.Müşterinin uygun hazırlıklar yapması ve gerekli araçları sağlaması gerekir, örneğin kaldırma ve kaldırma ekipmanları ve kurulum personeli desteği sağlamak (bir mekanik personel ve 1 elektrikli personelin olması önerilir).

• Son kabul
Kurulum ve devreye girdikten sonra, ekipman teknik sözleşmenin gerekliliklerine uygun olarak nihai olarak kabul edilebilir.

• Eğitim
Satış sonrası mühendislerimiz, operasyon, bakım, sorun giderme vb. dahil olmak üzere sistematik ve tam bir yerüstü eğitim sağlayacaktır.

• Teknik verilerin verilmesi

Güvenli işletme ve ekipman bakımını sağlamak için müşterilere aşağıdaki teknik veriler sağlanacaktır:

1Ekipman kurulum planı
2. Kullanıcı kılavuzu
3. Yedek parça listesi
4Elektrik çizimleri
5. Bileşen kılavuzu

Sık Sorulan Sorular

Fabrika mı yoksa ticaret şirketi misiniz?

S: Fabrika mı yoksa ticaret şirketi misiniz?
A: Biz Çin'in önde gelen yüksek sıcaklıklı vakum fırın üreticisiyiz. 10 yıldan fazla deneyime sahibiz.

Özel veya OEM hizmeti var mı?

S: Özelleştirme veya OEM hizmeti var mı?
A:Evet, güçlü bir Ar-Ge ekibimiz ve yüksek teknoloji ekipmanımız var. Bu yüzden sadece düzenli modeli değil, müşterilerimizin repuirment olarak özelleştirilebilir fırını da sağlayabiliriz.

Senin avantajın ne?

S: Senin avantajın nedir?
A:

Sorunuza hızlı bir yanıt.

l Yüksek kalite kontrolü

L Istikrarlı tedarik zinciri

I Zamanında teslimat

Üstün satış sonrası hizmet