Menşe yeri:
Çin
Marka adı:
Ruideer
Sertifika:
CE
Model numarası:
630,530,430
TiCL4,AICL3 öncüleri ve süreç gazları ile kimyasal buhar çökme kaplama fırını
CVD Kaplama Makinesi, bir altyapının yüzeyine ince bir malzeme katmanı yatırmak için kimyasal çökme ekipmanı kullanan en gelişmiş vakum kaplama tekniğidir.Bu tür yüzey kaplama cihazı kaplama hızlarının geniş bir aralığını sunar., 0,1 ila 2,0 m/min. Ayrıca -± 2mbar basınç istikrarıyla kesin ve tekdüze bir kaplama basıncı sağlar.En iyi kaplama sonuçları için sabit bir altyapı sıcaklığını sağlayan. Tüm süreç, hassas kaplama kalınlığını ve tekdüzeliğini sağlayan bir PLC sistemi tarafından kontrol edilir. Bu CVD Kaplama Makinesi, çeşitli CVD kaplama uygulamaları için idealdir.
ALD ve CVD süreçleri arasındaki farklılıklar:
ALDKendini sınırlayan bir yüzey reaksiyonuna dayanan kimyasal bir buhar çökme tekniğidir.
Bir kerede bir atom tabakası depolama filmleri
Düşük sıcaklık gerektirir.
Yarım iletkenler ve entegre devreler, ince film güneş hücreleri ve optik bileşenler için yüksek performanslı kaplamaların üretiminde kullanışlıdır.
CVDgeniş çapta kullanılan bir malzeme işleme teknolojisidir. Gaz fazı öncüllerinin kimyasal reaksiyonu yoluyla ısıtılmış bir substrat üzerinde ince filmler oluşur.
Daha geniş bir kalınlık aralığı olan depolama filmleri
Daha yüksek sıcaklıklar gerektirir.
Optik, mikroelektronik ve malzeme bilimi gibi alanlarda kullanılır. Elektronik cihazlar için ince filmler ve kaplamaların üretilmesine yardımcı olur.ve çeşitli malzemelerin sentezi.
Ekipman modeli | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
Etkili alan ((mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
Isıtma gücü ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
Isıtma bölgesi miktarı | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
Ekipmanın ayak izi (mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
Süreç sıcaklığı(°C) | 700-1050 | |||||
Öncüler ve işlem gazları | TiCL4AICL3CH3CN,H2N2Ar, CH, CO, CO2HCI, H2S | |||||
Kaplama türleri | TiC,TiN,TiCN,a-AL2O.3K-AI.2O.3 | |||||
İsteğe bağlı ekipmanlar |
1. Gaz nötralizörü kapalı (evakuasyon cihazı dahil); 2. İkinci aşamalı gaz dağıtıcısı (örnekteler dahil); 3. benzin istasyonu (örnekteler dahil) |
• Tasarım standartları
Ekipman, Kalite ve Teknik Denetim Bürosu'nun basınçlı kap gereksinimlerine uygun olarak tasarlanmıştır ve basınç testinden sonra nitelikli ve gönderilmiştir.Elektriksel tasarım ve inşaat ulusal standartlara uygun.
• Kurulum öncesi test ve ön kabul
Tüm boru hatları, vakum boru hatları, proses gaz boru hatları, soğutma suyu boru hatları, basınçlı hava boru hatları vb.Kurulumdan sonra ön test yapılabilir.. Müşteri sitesinde, ekipman dışındaki boru hatları müşteri tarafından sağlanır. Kurulum, tüm kabloların bağlantısını da içerir.Güç dolabını bağlayan ana kablo müşteri tarafından sağlanır.Kurulumdan sonra, tüm ekipman üzerinde vakum ve pozitif basınç sızıntı testleri, mekanik ve elektrik fonksiyon testleri yapıyoruz.
• Çıkarma ve nakliye
Ekipman birkaç büyük parçaya ayrılır, standart bir şekilde paketlenir ve nakliye aracına yüklenir.
• Müşteri sitesi kurulumu ve devreye girmesi
Redel satış sonrası mühendisi ekibe 20 iş günü içinde komisyonlama, ürün deneme yakma ve diğer işleri tamamlama konusunda liderlik edecek.Müşterinin uygun hazırlıklar yapması ve gerekli araçları sağlaması gerekir, örneğin kaldırma ve kaldırma ekipmanları ve kurulum personeli desteği sağlamak (bir mekanik personel ve 1 elektrikli personelin olması önerilir).
• Son kabul
Kurulum ve devreye girdikten sonra, ekipman teknik sözleşmenin gerekliliklerine uygun olarak nihai olarak kabul edilebilir.
• Eğitim
Satış sonrası mühendislerimiz, operasyon, bakım, sorun giderme vb. dahil olmak üzere sistematik ve tam bir yerüstü eğitim sağlayacaktır.
• Teknik verilerin verilmesi
Güvenli işletme ve ekipman bakımını sağlamak için müşterilere aşağıdaki teknik veriler sağlanacaktır:
1Ekipman kurulum planı
2. Kullanıcı kılavuzu
3. Yedek parça listesi
4Elektrik çizimleri
5. Bileşen kılavuzu
Sık Sorulan Sorular
S: Fabrika mı yoksa ticaret şirketi misiniz?
A: Biz Çin'in önde gelen yüksek sıcaklıklı vakum fırın üreticisiyiz. 10 yıldan fazla deneyime sahibiz.
S: Özelleştirme veya OEM hizmeti var mı?
A:Evet, güçlü bir Ar-Ge ekibimiz ve yüksek teknoloji ekipmanımız var. Bu yüzden sadece düzenli modeli değil, müşterilerimizin repuirment olarak özelleştirilebilir fırını da sağlayabiliriz.
S: Senin avantajın nedir?
A:
Sorunuza hızlı bir yanıt.
l Yüksek kalite kontrolü
L Istikrarlı tedarik zinciri
I Zamanında teslimat
Üstün satış sonrası hizmet
Sorgularınızı doğrudan bize gönderin.