Workingspace: 12-1000L
Max.WorkpingPressuremax.WorkingPressure (MPA): 1、2、6、10、20
Maks.İş sıcaklığı: 1300°C
Çalışma sıcaklığı: 1200°C
Ambalaj bilgileri: Ahşap Kasalar
Teslim süresi: 5-6 ay
Isıtma Bölgesi: Tek / Çift / Çoklu
Sıcaklık ölçümü: W-Re 5/26 Termokupl+kızılötesi pirometre
Boyut: özel
Giriş gazı: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Maksimum çalışma sıcaklığı(°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Maksimum Çalışma Sıcaklığı: 1800°C
Maks. çalışma basıncı: 9,8bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Soğutma Süresi: ≤1H/4H/5H/6H/8H (boş fırın, sinterleme sıcaklığından soğutma 1450-100 ° C) Su sıcaklığı 26 ℃, su bas
Boyut: özel
Kaplama Yüzeyleri: Metal, seramik, cam vb.
Kaplama Yapışma: Güçlü
Öncüler ve proses gazları: Ticl4 、 alcl3 、 ch3cn 、 h2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
Kaplama Ekipmanı Boyutu: özelleştirilebilir
kaplama yöntemi: Kimyasal buhar birikimi (CVD)
Toplam güç: Yaklaşık 40/50/60/80kW
Toplam güç: Yaklaşık 40/50/60/80kW
Kaplama Yüzeyleri: Metal, seramik, cam vb.
Soğutma Süresi: ≤1H/4H/5H/6H/8H (boş fırın, sinterleme sıcaklığından soğutma 1450-100 ° C) Su sıcaklığı 26 ℃, su bas
Maksimum sıcaklık: 2000°C
Öncüler ve proses gazları: Ticl4 、 alcl3 、 ch3cn 、 h2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
Kaplama Yüzeyleri: Metal, seramik, cam vb.
Sorgularınızı doğrudan bize gönderin.